第14章 星火一号光源测试（上） (第2/2页)
ASML的EUV 光刻机机台得“光线”经过十几面反射镜，将光从光源一路导到晶圆，最后大概只能剩下不到 2% 的光线，能量浪费严重，一台光刻机一天使�
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